推薦產品
聯系我們
- 上海首立實業有限公司
- 公司地址：上海市閔行區古美路1471號華城廣場307室
- 公司傳真：86-21-54933358-813
- 聯系QQ：
掃一掃，立刻溝通
你的位置：首頁 > 產品展示 > > HORIBA（過程&環境） >實時膜厚檢測儀
產品詳細頁
實時膜厚檢測儀
- 產品型號：LEM-CT-670-G50
- 更新時間：2024-03-19
- 產品介紹：概要實時的干涉測量設備，提供蝕刻/鍍膜制程中高精度的膜厚及蝕刻溝深度檢測。單色光打在樣品表面，由于膜厚和高度變化導致不同的光路長度時，使用干涉測量法。通過循環，系統能在監控區使用實時監測的方法計算蝕刻和鍍膜的速度，在規定的膜厚和槽深來進行終點檢測。基于這個相對簡單的理論，系統不但非常穩定，并且可用于復雜的多層薄膜。
- 在線留言 86-21-54933058/54933060/54933358/54182486/28097339
產品介紹
概要
實時的干涉測量設備，提供蝕刻/鍍膜制程中高精度的膜厚及蝕刻溝深度檢測。單色光打在樣品表面，由于膜厚和高度變化導致不同的光路長度時，使用干涉測量法。通過循環，系統能在監控區使用實時監測的方法計算蝕刻和鍍膜的速度，在規定的膜厚和槽深來進行終點檢測。基于這個相對簡單的理論，系統不但非常穩定，并且可用于復雜的多層薄膜。
特征
- 兩種類型的激光器，可兼容大范圍的薄膜，包括SiN, SiO2, GaAs, InP, AlGaAs, and GaN.
- 生產線使用內置軟件。
- 終點檢測法的靈活應用。
- *的加工特點。